JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B

J VAC SCI TECHNOL B

影响因子：1.2

是否综述期刊：否

是否预警：不在预警名单内

是否OA：否

出版国家/地区：UNITED STATES

出版社：A V S AMER INST PHYSICS

发刊时间：1991

发刊频率：Bimonthly

收录数据库：SCIE

ISSN：1071-1023

期刊介绍

Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.

《真空科学与技术杂志》B版重点介绍与微米和纳米结构和器件相关的处理、测量和现象。处理可包括真空处理、等离子体处理和微光刻等，而测量涉及广泛的材料和器件表征方法，用于理解亚微米和纳米结构和器件的物理和化学。

年发文量 185

国人发稿量 20.66

国人发文占比 0.11%

自引率 -

平均录取率0

平均审稿周期平均3.0个月

版面费 -

偏重研究方向工程技术-工程：电子与电气

期刊官网 http://avspublications.org/jvstb/

投稿链接 http://jvstb.peerx-press.org/cgi-bin/main.plex

质量指标占比

研究类文章占比 OA被引用占比撤稿占比出版后修正文章占比

98.92%7.45%--

预警情况

查看说明

时间预警情况

2025年03月发布的2025版不在预警名单中

2024年02月发布的2024版不在预警名单中

2023年01月发布的2023版不在预警名单中

2021年12月发布的2021版不在预警名单中

2020年12月发布的2020版不在预警名单中

*来源：中科院《国际期刊预警名单》

JCR分区

WOS分区等级：Q4区

版本按学科分区

WOS期刊SCI分区

WOS期刊SCI分区是指SCI官方（Web of Science）为每个学科内的期刊按照IF数值排序，将期刊按照四等分的方法划分的Q1-Q4等级，Q1代表质量最高，即常说的1区期刊。

（2024-2025年最新版）

ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC

中科院分区

查看说明

版本大类学科小类学科 Top期刊综述期刊

2025年3月最新升级版

工程技术4区

ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气

4区

NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技

4区

PHYSICS, APPLIED 物理：应用

4区

否

2023年12月升级版